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    產(chǎn)品名稱:共聚焦顯微鏡

    產(chǎn)品型號:Smartproof 5

    產(chǎn)品品牌:Zeiss 蔡司

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    Smartproof 5?快速轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡

     

     

    ZEISS蔡司的多功能 Smartproof 5 快速轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡是用于表面分析的集成系統(tǒng):快速,準(zhǔn)確,可重復(fù)??捎糜诟鞣N工業(yè)應(yīng)用質(zhì)量保證和質(zhì)量控制部門,生產(chǎn)部門及 R&D 實驗室日常分析中需要解決的問題。

    這套高質(zhì)量的共聚焦系統(tǒng)使用蔡司 ZEN 圖像分析軟件,為您帶來更大的用戶體驗和提高生產(chǎn)力的附加利益。

     

    應(yīng)用領(lǐng)域

     

    汽車與航空航天:軸承、密封件、活塞、氣缸、噴油嘴、注塑或增材制造部件的粗糙度測量

    材料研究/工程 材料(例如纖維、石頭、光子結(jié)構(gòu)):表面特性檢測、電化學(xué)蝕刻后的深度測量、耐腐蝕研究、注塑工藝特性檢測

    金屬與鋼材:拋光和機械加工金屬表面、刀具的粗糙度測量和耐腐蝕研究

    電子器件:印刷電路板、集成電路封裝、冷凝器、太陽能電池板、LED、顯示器、玻璃上的

    3D 表面形貌或粗糙度測量:醫(yī)療行業(yè) 醫(yī)療器械和功能性表面的非接觸面粗糙度特性檢測

     

    產(chǎn)品特點:

     

    可信的數(shù)據(jù)輸出

    1) 由于寬場相關(guān)孔徑共聚焦技術(shù),Smartproof 5能夠有效地減少獲取分析結(jié)果的時間,從而能夠保證高分辨率的同時也能夠?qū)崿F(xiàn)快速成像。

    2) 蔡司優(yōu)異的光學(xué)系統(tǒng)和可靠部件讓用戶有效率地進行各種應(yīng)用。

    3) 搭配ConfoMap軟件——蔡司版本的Mountains-Map——測量軟件中的黃金標(biāo)準(zhǔn)。

    4) 您可以根據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)來分析您的數(shù)據(jù)并獲取相關(guān)分析報告。

     

    引導(dǎo)式工作流程

    1) 由于其簡易的操作系統(tǒng)和工作流程,Smartproof 5尤其適合研究生產(chǎn)和過程控制。

    2) 易學(xué)的檢查流程和面向工作流程的圖像用戶界面(GUI)指導(dǎo)用戶進行重復(fù)性任務(wù)。

    3) 在結(jié)果準(zhǔn)確、可追溯的基礎(chǔ)下,確保用戶能夠獨立完成數(shù)據(jù)獲取。

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    高集成度和穩(wěn)固設(shè)計

    1) 得益于高度集成系統(tǒng):光學(xué)元件,電子部件以及照相機都封裝在顯微鏡中。

    2) Smartproof 5 的實用穩(wěn)固結(jié)構(gòu)讓其有效地防止振動。

     

    優(yōu)異的蔡司光學(xué)

    1) 新的蔡司物鏡系列 C Epiplan-Apochromat 是專門為了快速轉(zhuǎn)盤共聚焦系統(tǒng)特別設(shè)計的。這些高數(shù)值孔徑物鏡不但能在可見光范圍下?lián)碛懈玫男阅埽?05納米(獲取共聚焦圖像所使用的波長)下也同樣如此。

    2) 相比傳統(tǒng)的點掃描共聚焦顯微鏡,使用快速轉(zhuǎn)盤共聚焦技術(shù)的 Smartproof 5 擁有更加優(yōu)異的性能。通過集成在 Smartproof 5 探測器模塊里面的相關(guān)聯(lián)的光闌轉(zhuǎn)盤技術(shù)來實現(xiàn)的 Smartproof 5 優(yōu)異的性能,同時還保持了共聚焦顯微鏡表面表征的典型特點。您能夠得益于它杰出的高度解析能力和橫向分辨率。

     

    用于準(zhǔn)確導(dǎo)航的引導(dǎo)式工作流程

    由于其集成的ZEN圖形用戶界面支持從宏觀到微觀分析的無縫切換工作流程,Smartproof 5 的定位簡單而準(zhǔn)確。通過概覽圖像就能夠容易地定義要測量的位置。獲取的數(shù)據(jù)會被自動傳輸?shù)?Confomap 軟件,讓您對樣品的三維屬性進行處理和分析。工作流程能夠保存以便再次執(zhí)行同樣的微觀三維分析。

     

    值得信賴的數(shù)據(jù)輸出

    自動化的 Smartproof 5 部件讓軟件能夠監(jiān)控每個部件的狀態(tài)。因此用于重復(fù)性分析的工作流程很容易創(chuàng)建。通過功能強大的 ConfoMap 軟件,您可以分析樣品的幾何參數(shù),或依據(jù) ISO 標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行 2D (輪廓)和 3D (面積)粗糙度分析。

     

     

    系統(tǒng)概覽及靈活多樣的組件選擇

     

    顯微鏡主體:

    1) 掃描頭,包括 Z 軸精細(xì)調(diào)焦驅(qū)動以及 4 百萬像素相機

    2) 主機架,包括 Z 軸粗調(diào)焦驅(qū)動

    3) 6 位物鏡轉(zhuǎn)盤

     

    物鏡:

    1) EC Epiplan-Neofluar 2.5×/0.06(標(biāo)配)

    2) C Epiplan-Apochromat 5×/0.2

    3) C Epiplan-Apochromat 10×/0.4

    4) C Epiplan-Apochromat 20×/0.7

    5) C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 靈活多樣的組件選擇

    6) LD C Epiplan-Apochromat 50×/0.6 (長工作距離)

    7) LD C Epiplan-Neofluar 100×/0.75 (長工作距離)

     

    計算機系統(tǒng)

    1) 電腦系統(tǒng)自帶 Smartproof ZEN 軟件

    2) 顯示器

    3) 可控制 XYZ 軸的 3D 鼠標(biāo)

     

    軟件

    1) ZEN core,用于數(shù)據(jù)采集和成像

    2) ConfoMap,用于數(shù)據(jù)分析

    3) ZEN Shuttle & Find,用于關(guān)聯(lián)顯微鏡

    4) ZEN Data Storage,用于集中式數(shù)據(jù) 管理

    5) ZEN Intellesis,用于圖像分割

    6) ZEN Connect,用于不同成像方式的 數(shù)據(jù)可視化和分析

    7) NEO pixel,用于 2D 自動化測量

     

     

     

    技術(shù)參數(shù)

     

    不同物鏡放大倍率下的圖像視場 物鏡放大倍率和數(shù)值孔徑 視場大小(μm × μm) 工作距離 (mm)
    5×/0.2 2250 × 2250 21.0
    10×/0.4 1125 × 1125 5.4
    20×/0.7 562 × 562 1.3
    50×/0.95 225 × 225 0.22
    50×/0.6 225 × 225 7.6
    100×/0.75 112 × 112 4.0
    圖片像素分辨率 水平分辨率(線對),使用 50×/0.95
    2048 × 2048 像素 物鏡 0.13 μm
    水平測量不確定性 ±(0.1 μm + 0.008 × L)(或更佳)
    垂直測量不確定性 ±(0.1 μm + 0.012 × L)(或更佳)
    Z 軸步進精度小到 1 nm
    光源 405 nm LED 光用于共聚焦成像模式,RGB LED 光用于真彩成像模式
    相機幀速率 50 fps(使用 USB 3.0 且在 2048 × 2048 像素成像時)
    顏色位數(shù) 10 bit
    高度掃描范圍 高達 5 mm
    允許測量工件高度大到 100 mm
    允許測量工件重量達到 5 kg
    掃描臺尺寸 300 mm × 240 mm
    XY 方向的行程 150 mm × 150 mm
    圖像數(shù)據(jù)處理和測量 2D:距離、高度、角度、構(gòu)造元素和基于 ISO 4287 標(biāo)準(zhǔn)的輪廓粗糙度
    3D:水平距離、3D 距離、高度、角度、構(gòu)造點、面積、體積和基于 ISO 25178 標(biāo)準(zhǔn)的面粗糙度
    其它:水平調(diào)整、形狀去除、濾波、去噪及報告

     

     

    應(yīng)用案例

    機械加工金屬表面:(左圖)由 20x/0.7 物鏡拍攝的四張真彩表面紋理疊加 3D 彩色編碼高度圖的拼接圖片;(右圖)以垂直于機械加工方向獲取的粗糙度剖面圖,顯示了表面輪廓。

     

    花齒螺釘:(左圖)3D 彩色編碼高度圖;(右圖)沿左圖所示方向獲取的剖面圖,用等高線測量角度和高度差。

     

    電子設(shè)備:(左圖)疊加真彩紋理的三維視圖;(中圖)用 10×/0.4 物鏡創(chuàng)建的高度圖;(右圖)用于測量區(qū)域粗糙度或紋理的二維高度圖,例如用于質(zhì)量控制或確定假冒電子設(shè)備。

     

    左圖:激光刻蝕表面,帶表面紋理圖層的 3D 彩色編碼高度圖, C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 物鏡
    中圖:太陽能電池表面的銀手指,帶表面紋理圖層的彩色編碼高度 3D 顯示圖,C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 物鏡
    右圖:8 nm 臺階高度標(biāo)樣、高度圖,C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 物鏡