概述

ZEISS蔡司智能3D數(shù)碼顯微鏡Smartzoom5是一款為工業(yè)質(zhì)量控制領(lǐng)域及好的研究方向的客戶提供的一項全新解決方案?？蓪悠愤M行三維成像、數(shù)碼變倍及光學(xué)變焦、讓數(shù)碼顯微鏡實現(xiàn)了連續(xù)變倍，并可快速便攜地對樣品進行二維、三維的觀察和測量。

產(chǎn)品應(yīng)用

1)?電子行業(yè)（包括半導(dǎo)體IC邦定、印刷電路板、LED芯片、微電子MEMS等）

2)?機械零部件（包括汽車微小零部件等）

3)?材料（包括腐蝕、金相斷口、鍍膜厚度、熔融狀態(tài)、疏水性材料接觸角、無紡布等）

4)? 刀具（包括常規(guī)刀具、金剛石涂層刀具等）

5)?醫(yī)療器械（包括心血管支架、塑膠管斷口、注射器等）

6)?電池行業(yè)（紐扣電池、鋰電池、太陽能電池等）

7)?生命科學(xué)（包括昆蟲、斑馬魚、植物、仿生材料等）

8)?公安（包括刑偵中的痕檢等）

9)?其他（包裝材料、文物修復(fù)、造紙、紡織、印刷）

?激光焊接，同軸光明場

氣囊內(nèi)的激光噴丸，全環(huán)形光照明，景深擴展

線圈導(dǎo)線，分段式環(huán)形光源，景深擴展

出口閥上的廢氣殘留物，分段式環(huán)形光源，景深擴展

產(chǎn)品性能

1）全自動操作：電動變倍、自動聚焦、電動載物臺、全觸摸屏操作。

2）鏡頭可傾斜觀察，滿足多種觀察角度。

3）內(nèi)置預(yù)覽相機可自動拍攝樣品的整體圖像–導(dǎo)航功能

4）內(nèi)置長壽命同軸LED及環(huán)形LED光源

5）大載物臺設(shè)計，可放置大和重的樣品，行程達130mmX100mm。

6）高速實時圖像處理與測量

7）10× 至 1,011× 放大倍率的三款不同物鏡供選擇

8）更換鏡頭時可自動特征識別。

9）智能化設(shè)計與操作，特別設(shè)計的管理員模式與操作者模式，操作者只需根據(jù)管理員設(shè)計的程序操作即可，避免出錯并提高工作效率，應(yīng)用報告自動生成。

高度智能化質(zhì)量控制?(QA/QC)?檢驗技術(shù)

智能化設(shè)計

1) Smartzoom 5 數(shù)碼顯微鏡運用了高度智能化質(zhì)量控制 (QA/QC) 檢驗技術(shù)。

2) 數(shù)碼顯微鏡集成了集變焦、全景照相和同軸照明三功能為一體的光學(xué)引擎。

3) Smartzoom 5 可顯示所有主要組件的狀態(tài)信息，并具有自動校正偏差的功能。

智能化工作流程

1) Smartzoom 5 擁有宏記錄模式，使得同一類型樣品重復(fù)分析工作流程效率更高。

2) 集成了手勢控制的 QA/QC 用戶操作界面，支持從宏觀到微觀工作流程的無縫對接，輕松實現(xiàn)快速導(dǎo)航。

3) 圖像預(yù)設(shè)和增強功能可以獲得更高質(zhì)量的圖像。運用大量圖像算法實現(xiàn)自動化測量。

智能化輸出

1) Smartzoom 5 對日常檢測和失效分析提供快速可重復(fù)的QA/QC 檢測結(jié)果。

2) 系統(tǒng)指導(dǎo)的工作流程結(jié)合校正的組件，支持用戶獨立完成測量檢測工作。

3) 輕松注釋圖像并導(dǎo)出 word 格式的報告。

ZEISS蔡司的多功能 Smartproof 5 快速轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡是用于表面分析的集成系統(tǒng)：快速，準確，可重復(fù)?？捎糜诟鞣N工業(yè)應(yīng)用質(zhì)量保證和質(zhì)量控制部門，生產(chǎn)部門及 R&D 實驗室日常分析中需要解決的問題。

這套高質(zhì)量的共聚焦系統(tǒng)使用蔡司 ZEN 圖像分析軟件，為您帶來更大的用戶體驗和提高生產(chǎn)力的附加利益。

應(yīng)用領(lǐng)域

汽車與航空航天：軸承、密封件、活塞、氣缸、噴油嘴、注塑或增材制造部件的粗糙度測量

材料研究/工程 材料（例如纖維、石頭、光子結(jié)構(gòu)）：表面特性檢測、電化學(xué)蝕刻后的深度測量、耐腐蝕研究、注塑工藝特性檢測

金屬與鋼材：拋光和機械加工金屬表面、刀具的粗糙度測量和耐腐蝕研究

電子器件：印刷電路板、集成電路封裝、冷凝器、太陽能電池板、LED、顯示器、玻璃上的

3D 表面形貌或粗糙度測量：醫(yī)療行業(yè) 醫(yī)療器械和功能性表面的非接觸面粗糙度特性檢測

產(chǎn)品特點：

可信的數(shù)據(jù)輸出

1) 由于寬場相關(guān)孔徑共聚焦技術(shù)，Smartproof 5能夠有效地減少獲取分析結(jié)果的時間，從而能夠保證高分辨率的同時也能夠?qū)崿F(xiàn)快速成像。

2) 蔡司優(yōu)異的光學(xué)系統(tǒng)和可靠部件讓用戶有效率地進行各種應(yīng)用。

3) 搭配ConfoMap軟件——蔡司版本的Mountains-Map——測量軟件中的黃金標準。

4) 您可以根據(jù)國際標準來分析您的數(shù)據(jù)并獲取相關(guān)分析報告。

引導(dǎo)式工作流程

1) 由于其簡易的操作系統(tǒng)和工作流程，Smartproof 5尤其適合研究生產(chǎn)和過程控制。

2) 易學(xué)的檢查流程和面向工作流程的圖像用戶界面（GUI）指導(dǎo)用戶進行重復(fù)性任務(wù)。

3) 在結(jié)果準確、可追溯的基礎(chǔ)下，確保用戶能夠獨立完成數(shù)據(jù)獲取。

?

高集成度和穩(wěn)固設(shè)計

1） 得益于高度集成系統(tǒng)：光學(xué)元件，電子部件以及照相機都封裝在顯微鏡中。

2） Smartproof 5 的實用穩(wěn)固結(jié)構(gòu)讓其有效地防止振動。

優(yōu)異的蔡司光學(xué)

1） 新的蔡司物鏡系列 C Epiplan-Apochromat 是專門為了快速轉(zhuǎn)盤共聚焦系統(tǒng)特別設(shè)計的。這些高數(shù)值孔徑物鏡不但能在可見光范圍下?lián)碛懈玫男阅?，?05納米（獲取共聚焦圖像所使用的波長）下也同樣如此。

2） 相比傳統(tǒng)的點掃描共聚焦顯微鏡，使用快速轉(zhuǎn)盤共聚焦技術(shù)的 Smartproof 5 擁有更加優(yōu)異的性能。通過集成在 Smartproof 5 探測器模塊里面的相關(guān)聯(lián)的光闌轉(zhuǎn)盤技術(shù)來實現(xiàn)的 Smartproof 5 優(yōu)異的性能，同時還保持了共聚焦顯微鏡表面表征的典型特點。您能夠得益于它杰出的高度解析能力和橫向分辨率。

用于準確導(dǎo)航的引導(dǎo)式工作流程

由于其集成的ZEN圖形用戶界面支持從宏觀到微觀分析的無縫切換工作流程，Smartproof 5 的定位簡單而準確。通過概覽圖像就能夠容易地定義要測量的位置。獲取的數(shù)據(jù)會被自動傳輸?shù)?Confomap 軟件，讓您對樣品的三維屬性進行處理和分析。工作流程能夠保存以便再次執(zhí)行同樣的微觀三維分析。

值得信賴的數(shù)據(jù)輸出

自動化的 Smartproof 5 部件讓軟件能夠監(jiān)控每個部件的狀態(tài)。因此用于重復(fù)性分析的工作流程很容易創(chuàng)建。通過功能強大的 ConfoMap 軟件，您可以分析樣品的幾何參數(shù)，或依據(jù) ISO 標準執(zhí)行 2D （輪廓）和 3D （面積）粗糙度分析。

系統(tǒng)概覽及靈活多樣的組件選擇

顯微鏡主體：

1） 掃描頭，包括 Z 軸精細調(diào)焦驅(qū)動以及 4 百萬像素相機

2） 主機架，包括 Z 軸粗調(diào)焦驅(qū)動

3） 6 位物鏡轉(zhuǎn)盤

物鏡：

1） EC Epiplan-Neofluar 2.5×/0.06（標配）

2） C Epiplan-Apochromat 5×/0.2

3） C Epiplan-Apochromat 10×/0.4

4） C Epiplan-Apochromat 20×/0.7

5） C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 靈活多樣的組件選擇

6） LD C Epiplan-Apochromat 50×/0.6 （長工作距離）

7） LD C Epiplan-Neofluar 100×/0.75 （長工作距離）

計算機系統(tǒng)

1） 電腦系統(tǒng)自帶 Smartproof ZEN 軟件

2） 顯示器

3） 可控制 XYZ 軸的 3D 鼠標

軟件

1） ZEN core，用于數(shù)據(jù)采集和成像

2） ConfoMap，用于數(shù)據(jù)分析

3） ZEN Shuttle & Find，用于關(guān)聯(lián)顯微鏡

4） ZEN Data Storage，用于集中式數(shù)據(jù) 管理

5） ZEN Intellesis，用于圖像分割

6） ZEN Connect，用于不同成像方式的 數(shù)據(jù)可視化和分析

7） NEO pixel，用于 2D 自動化測量

技術(shù)參數(shù)

應(yīng)用案例

機械加工金屬表面：（左圖）由 20x/0.7 物鏡拍攝的四張真彩表面紋理疊加 3D 彩色編碼高度圖的拼接圖片；（右圖）以垂直于機械加工方向獲取的粗糙度剖面圖，顯示了表面輪廓。

花齒螺釘：（左圖）3D 彩色編碼高度圖；（右圖）沿左圖所示方向獲取的剖面圖，用等高線測量角度和高度差。

電子設(shè)備：（左圖）疊加真彩紋理的三維視圖；（中圖）用 10×/0.4 物鏡創(chuàng)建的高度圖；（右圖）用于測量區(qū)域粗糙度或紋理的二維高度圖，例如用于質(zhì)量控制或確定假冒電子設(shè)備。

左圖：激光刻蝕表面，帶表面紋理圖層的 3D 彩色編碼高度圖， C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 物鏡

中圖：太陽能電池表面的銀手指，帶表面紋理圖層的彩色編碼高度 3D 顯示圖，C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 物鏡

右圖：8 nm 臺階高度標樣、高度圖，C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 物鏡

SZ51和SZ61顯微鏡配有內(nèi)置防靜電保護裝置，可生成具有優(yōu)異景深、清晰、細致、顏色逼真的圖像。其可靠、高性能的光學(xué)部件是保證準確觀測結(jié)果的核心。

小型設(shè)計和光學(xué)性能并存

實現(xiàn)了小型機體的格里諾（Greenough）光學(xué)系統(tǒng)

搭載了格里諾（Greenough）光學(xué)系統(tǒng)，同時實現(xiàn)了大范圍的變焦比和清晰的觀察影像。靈活運用了格里諾光學(xué)系統(tǒng)的特性，機體線條流暢而小巧。能在生產(chǎn)流水線發(fā)揮威力的同時，也適合與設(shè)備組裝使用。

V字形光路使物鏡的形狀能設(shè)計成細長形，也適合與設(shè)備組裝使用。工作性能優(yōu)越的小型機體誕生了。

實現(xiàn)了高度平直度和較深的焦點深度
內(nèi)向角的格里諾光學(xué)設(shè)計，使高度平直度和較深的焦點深度能同時實現(xiàn)。能從前面到內(nèi)部正確對焦凹凸很大的樣品，得到充滿立體感的觀察圖像。

實現(xiàn)了忠實于樣品的觀察影像
自然的色彩再現(xiàn)功能，能夠觀察到樣品原來的顏色。影像平面彎曲的控制，能更為逼真的觀察到樣品的形狀。此外，變焦比為6.7（0.67倍～4.5倍）［SZ61］,5（0.8倍～4倍）［SZ51］，性能優(yōu)越。

對應(yīng)ESD，防止器件受到靜電影響
機體和主要附件涂以防靜電材料，能夠快速去除靜電。這樣就能夠防止靜電破壞樣品。

根據(jù)用途選擇機體

除了標準型號的SZ61/51以外，我們還準備了適合安裝數(shù)碼照相機的三目鏡筒型號（SZ61TR），和適合設(shè)備加載的俯角60°型號（SZ61/51-60）。

標準型 (SZ61/SZ51)

三目鏡筒型 (SZ61TR)

設(shè)備加載型 (SZ61/SZ51-60)

多樣化的照明單元

LED照明底座組合

開發(fā)了使用LED的透射照明底座。薄型設(shè)計降低了樣品的位置，發(fā)揮了優(yōu)異的操作性能。此外，透射、外延的切換可以通過旋轉(zhuǎn)輕松操作。

雙分支互鎖導(dǎo)光管高亮度反射照明裝置組合

使用雙分支互鎖導(dǎo)光管可以將光線投向樣品的兩側(cè)，能自由地調(diào)節(jié)位置和角度。如果使用聚光透鏡，則能夠容易的進行點照明，從而確保高倍率觀察時的充分亮度。

同軸光反射照明裝置組合

能夠觀察在偏斜反射照明中無法觀察的樣品，是SZ61專用的照明裝置。

白色LED照明裝置組合

實現(xiàn)了高性價比的高亮度連續(xù)調(diào)光，是熱影響小、壽命長的環(huán)形照明裝置。

多種附件支持各種觀察方法

備有各種通用支架

SZ2-ST組合

SZ2-STU2組合

SZ2-STU3組合

使用數(shù)碼照相機記錄和保存數(shù)碼影像

三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機?？梢员４婧陀涗洈?shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報告?？梢罁?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機。

技術(shù)規(guī)格

SZX10是可再現(xiàn)樣品自然顏色和形貌的應(yīng)用領(lǐng)域較為廣泛的系統(tǒng)體視顯微鏡。寬范圍的變倍比（10倍），工作距離81mm，開口數(shù)0.1（采用1倍物鏡時）?？商峁└吖鈱W(xué)性能和舒服的操作環(huán)境。

SZX10: 10:1的變倍比,0.63X-6.3X連續(xù)和有級變倍

高分辨率效應(yīng)力物鏡,多款倍率選擇

明場,偏光,熒光系統(tǒng)配套

環(huán)形LED,100W鹵素光源等多種光源

技術(shù)規(guī)格

SZX7體視顯微鏡，價格適中、操作簡便，并配有7:1變焦率功能和內(nèi)置防靜電保護裝置，采用了先進的伽利略光學(xué)系統(tǒng)，可生成優(yōu)異的高畫質(zhì)圖像。

優(yōu)異的可視性和豐富的擴展性能

人體工程學(xué)設(shè)計

多樣化的照明單元

通用的支架和數(shù)碼成像

技術(shù)規(guī)格

易于使用，具有基本功能

• 減少觀察過程中的反復(fù)嘗試，提高檢驗速度 使用一臺儀器即可進行初步的宏觀分析
• 和詳細的微觀分析

為您的分析選擇超好的鏡頭

• 我們的全套物鏡系列共包含 17 種物鏡，可在各種放大倍率下獲得豐富的圖像
• 工作距離長，可降低碰撞樣品的幾率
• 一個物鏡兼具高分辨率和長工作距離

 

可信的測量結(jié)果

• 遠心光學(xué)系統(tǒng)，提供有保證的準確度，確保獲得高精度的測量結(jié)果

DSX1000 數(shù)碼顯微鏡系列

 

DSX1000 從入門型至高配型的系列，可滿足您的各種觀察需求。

入門型

 

易于使用，具有基本功能

傾斜型

 

從多角度觀察您的樣品

高分辨率型

 

可生成高分辨率圖像以進行分析

高配置型

 

6 種觀察方法和測量功能

DSX1000 物鏡

 

我們的全套物鏡系列共包含 17 種物鏡，包括超長工作距離和高數(shù)值孔徑的豐富選擇，可在各種放大倍率下獲得豐富的圖像。

超長工作距離物鏡

在鏡頭和樣品間提供了長工作距離。

 

高分辨率、長工作距離物鏡

提供高分辨率和長工作距離。

 

高性能、高數(shù)值孔徑的物鏡

實現(xiàn)納米級高性能觀察。

超長工作距離物鏡

• 在鏡頭和樣品間提供了長工作距離
• 適用于觀察大型不規(guī)則的樣品，如模具和金屬零件

	工作距離 (mm)	放大倍率	視場 (μm)	數(shù)值孔徑
DSX10-SXLOB1X
	51.7	20 – 140X	19,200 – 2,740	0.03
	?*DSX10-SXLOB1X 不支持 PO（偏光）觀察
DSX10-SXLOB3X
	66.1	42 – 420X	9,100 – 910	0.09
	?*DSX10-SXLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察
DSX10-SXLOB10X
	50.5	140 – 1400X	2,740 – 270	0.2
	?*DSX10-SXLOB10X 不支持 PO（偏光）觀察

高分辨率、長工作距離物鏡

• 兼具高分辨率和長工作距離
• 電子電路板的理想選擇

	工作距離 (mm)	放大倍率	視場 (μm)	數(shù)值孔徑
DSX10-XLOB3X
	41.1	42 – 420X	9,100 – 910	0.09
	?*DSX10-XLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察
DSX10-XLOB10X
	30	140 – 1400X	2,740 – 270	0.3
	?
DSX10-XLOB20X
	20	280 – 2800X	1,370 – 140	0.45
	?
DSX10-XLOB40X
	4.5	560 – 5600X	690 – 70	0.8
	?

高性能、高數(shù)值孔徑 (NA) 物鏡

• 實現(xiàn)納米級高性能觀察
• 適用于以更高分辨率觀察樣品，如半導(dǎo)體 和晶片

	工作距離 (mm)	放大倍率	視場 (μm)	數(shù)值孔徑
MPLFLN1.25X
	3.5	23 – 175X	17,100 – 2,190	0.04
	?*MPLFN1.25X only supports BF and OBQ observation
MPLFLN2.5X
	10.7	38 – 350X	10,200 – 1,100	0.08
	?*MPLFN2.5X only supports BF and OBQ observation
MPLFLN5XBDP
	12	70 – 700X	5,480 – 550	0.15
MPLFLN10XBDP
	6.5	140 – 1400X	2,740 – 270	0.25
MPLFLN20XBDP
	3	280 – 2800X	1,370 -140	0.4
MPLFLN50XBDP
	1	700 – 7000X	292 – 37	0.75
MPLAPON50X
	0.35	700 – 7000X	550 – 55	0.95
	?*MPLAPON50X 不支持暗場和 MIX 觀察
LMPLFLN10XBD
	10	140 – 1550 – 55400X	2,740- 270	0.25
LMPLFLN20XBD
	12	280 – 2800X	1,370- 140	0.4
LMPLFLN50XBD
	10.6	700 – 7000X	550 – 55	0.5

DSX1000 數(shù)碼顯微鏡 – 傾斜型

從多角度觀察您的樣品

查看整張圖片：20X 至 7000X 放大倍率范圍

• 單擊即可無縫切換放大倍率，進行從宏觀分析到細節(jié)的觀察
• 提供多功能、大景深、高分辨率、長工作距離的多種類物鏡，支持更多的分析檢驗工作
• 當您傾斜變焦頭部時，光學(xué)器件保持視場不變，可從多個角度觀察您的樣品

快速切換節(jié)省時間

• 快速、輕松地改變放大倍率
• 只需單擊即可改變觀察和照明方法
• 可在任何放大倍率下使用所有觀察方法

易于使用的操控手柄

• 轉(zhuǎn)動旋鈕即可進行樣品的光學(xué)縮放 單擊即可輕松捕獲 2D 或 3D 圖像，
• 或者移動 XY載物臺
• 按下按鈕即可在 6 種不同觀察方法間切換

DSX1000 數(shù)碼顯微鏡系列

 

DSX1000 從入門型至高配置型的系列，可滿足您的各種觀察需求。

入門型

 

易于使用，具有基本功能

傾斜型

 

從多角度觀察您的樣品

高分辨率型

 

可生成高分辨率圖像以進行分析

高配置型

 

6 種觀察方法和測量功能

DSX1000 物鏡

 

我們的全套物鏡系列共包含 17 種物鏡，包括超長工作距離和高數(shù)值孔徑的豐富選擇，可在各種放大倍率下獲得豐富的圖像。

超長工作距離物鏡

在鏡頭和樣品間提供了長工作距離。

 

高分辨率、長工作距離物鏡

提供高分辨率和長工作距離。

 

高性能、高數(shù)值孔徑的物鏡

實現(xiàn)納米級高性能觀察。

超長工作距離物鏡

• 在鏡頭和樣品間提供了長工作距離
• 適用于觀察大型不規(guī)則的樣品，如模具和金屬零件

	工作距離 (mm)	放大倍率	視場 (μm)	數(shù)值孔徑
DSX10-SXLOB1X
	51.7	20 – 140X	19,200 – 2,740	0.03
	?*DSX10-SXLOB1X 不支持 PO（偏光）觀察
DSX10-SXLOB3X
	66.1	42 – 420X	9,100 – 910	0.09
	?*DSX10-SXLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察
DSX10-SXLOB10X
	50.5	140 – 1400X	2,740 – 270	0.2
	?*DSX10-SXLOB10X 不支持 PO（偏光）觀察

高分辨率、長工作距離物鏡

• 兼具高分辨率和長工作距離
• 電子電路板的理想選擇

	工作距離 (mm)	放大倍率	視場 (μm)	數(shù)值孔徑
DSX10-XLOB3X
	41.1	42 – 420X	9,100 – 910	0.09
	?*DSX10-XLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察
DSX10-XLOB10X
	30	140 – 1400X	2,740 – 270	0.3
	?
DSX10-XLOB20X
	20	280 – 2800X	1,370 – 140	0.45
	?
DSX10-XLOB40X
	4.5	560 – 5600X	690 – 70	0.8
	?

高性能、高數(shù)值孔徑 (NA) 物鏡

• 實現(xiàn)納米級高性能觀察
• 適用于以更高分辨率觀察樣品，如半導(dǎo)體 和晶片

	工作距離 (mm)	放大倍率	視場 (μm)	數(shù)值孔徑
MPLFLN1.25X
	3.5	23 – 175X	17,100 – 2,190	0.04
	?*MPLFN1.25X only supports BF and OBQ observation
MPLFLN2.5X
	10.7	38 – 350X	10,200 – 1,100	0.08
	?*MPLFN2.5X only supports BF and OBQ observation
MPLFLN5XBDP
	12	70 – 700X	5,480 – 550	0.15
MPLFLN10XBDP
	6.5	140 – 1400X	2,740 – 270	0.25
MPLFLN20XBDP
	3	280 – 2800X	1,370 -140	0.4
MPLFLN50XBDP
	1	700 – 7000X	292 – 37	0.75
MPLAPON50X
	0.35	700 – 7000X	550 – 55	0.95
	?*MPLAPON50X 不支持暗場和 MIX 觀察
LMPLFLN10XBD
	10	140 – 1550 – 55400X	2,740- 270	0.25
LMPLFLN20XBD
	12	280 – 2800X	1,370- 140	0.4
LMPLFLN50XBD
	10.6	700 – 7000X	550 – 55	0.5

DSX1000 數(shù)碼顯微鏡 -高分辨率型

可生成高分辨率圖像以進行分析

DSX1000 高分辨率型

在所有放大倍率下的所有觀察方法

• 在所有放大倍率下以 6 種觀察方法
• 觀察您的樣品一鍵式切換觀察方法
• 物鏡兼具長工作距離和高分辨率

快速電動光學(xué)變焦

• 轉(zhuǎn)動操控手柄上的旋鈕即可實現(xiàn)光學(xué)縮放，單個物鏡即可實現(xiàn)范圍廣泛的放大倍率
• 憑借顯微鏡的優(yōu)化算法，按下按鈕即可捕獲高分辨率的 3D 圖像

用遠心光學(xué)器件進行高精度測量

• 調(diào)整焦點時，圖像的尺寸保持不變，可提高測量結(jié)果的準確度

有保證的^*準確度，確?？尚诺挠^察結(jié)果

• 在所有放大倍率下，準確度和重復(fù)性均可得到保證 自動校準可減少測量波動
• 進行現(xiàn)場校準，從而在工作環(huán)境中獲得優(yōu)良性能

^{*為了保證 XY 準確度，需由奧林巴斯的服務(wù)技術(shù)人員負責(zé)校準工作。}

DSX1000 系列數(shù)碼顯微鏡相對傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡的 5 大優(yōu)勢

 

01

放大倍數(shù)范圍寬、集多功能于一體的系統(tǒng)

采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：

僅需一套易用的系統(tǒng)即可完成檢驗

采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：

需要兩臺顯微鏡完成檢驗，一臺放大倍數(shù)低，一臺放大倍數(shù)高

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02

在高放大倍率下生成高分辨率圖像

采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：

單個物鏡具有高分辨率和長工作距離

采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：

分辨率隨著放大倍率增加而降低

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03

長工作距離的物鏡

采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：

觀察不規(guī)則的樣品而避免撞到它們

采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：

物鏡會撞到樣品，可能造成損壞

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04

一鍵式多種觀察方法切換

采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：

可在任何放大倍率下使用所有 6 種觀察方法

采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：

只提供一或兩種觀察方法，限制了對樣品的觀察

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05

有保證的準確度

采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：

在所有放大倍率下均可保證準確度和重復(fù)性

采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：

測量準確度無法保證

DSX1000 數(shù)碼顯微鏡系列

 

DSX1000 從入門型至高配置型的系列，可滿足您的各種觀察需求。

入門型

 

易于使用，具有基本功能

傾斜型

 

從多角度觀察您的樣品

高分辨率型

 

可生成高分辨率圖像以進行分析

高配置型

 

6 種觀察方法和測量功能

DSX1000 物鏡

 

我們的全套物鏡系列共包含 17 種物鏡，包括超長工作距離和高數(shù)值孔徑的豐富選擇，可在各種放大倍率下獲得豐富的圖像。

超長工作距離物鏡

在鏡頭和樣品間提供了長工作距離。

 

高分辨率、長工作距離物鏡

提供高分辨率和長工作距離。

 

高性能、高數(shù)值孔徑的物鏡

實現(xiàn)納米級高性能觀察。

超長工作距離物鏡

• 在鏡頭和樣品間提供了長工作距離
• 適用于觀察大型不規(guī)則的樣品，如模具和金屬零件

	工作距離 (mm)	放大倍率	視場 (μm)	數(shù)值孔徑
DSX10-SXLOB1X
	51.7	20 – 140X	19,200 – 2,740	0.03
	?*DSX10-SXLOB1X 不支持 PO（偏光）觀察
DSX10-SXLOB3X
	66.1	42 – 420X	9,100 – 910	0.09
	?*DSX10-SXLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察
DSX10-SXLOB10X
	50.5	140 – 1400X	2,740 – 270	0.2
	?*DSX10-SXLOB10X 不支持 PO（偏光）觀察

高分辨率、長工作距離物鏡

• 兼具高分辨率和長工作距離
• 電子電路板的理想選擇

	工作距離 (mm)	放大倍率	視場 (μm)	數(shù)值孔徑
DSX10-XLOB3X
	41.1	42 – 420X	9,100 – 910	0.09
	?*DSX10-XLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察
DSX10-XLOB10X
	30	140 – 1400X	2,740 – 270	0.3
	?
DSX10-XLOB20X
	20	280 – 2800X	1,370 – 140	0.45
	?
DSX10-XLOB40X
	4.5	560 – 5600X	690 – 70	0.8
	?

高性能、高數(shù)值孔徑 (NA) 物鏡

• 實現(xiàn)納米級高性能觀察
• 適用于以更高分辨率觀察樣品，如半導(dǎo)體 和晶片

	工作距離 (mm)	放大倍率	視場 (μm)	數(shù)值孔徑
MPLFLN1.25X
	3.5	23 – 175X	17,100 – 2,190	0.04
	?*MPLFN1.25X only supports BF and OBQ observation
MPLFLN2.5X
	10.7	38 – 350X	10,200 – 1,100	0.08
	?*MPLFN2.5X only supports BF and OBQ observation
MPLFLN5XBDP
	12	70 – 700X	5,480 – 550	0.15
MPLFLN10XBDP
	6.5	140 – 1400X	2,740 – 270	0.25
MPLFLN20XBDP
	3	280 – 2800X	1,370 -140	0.4
MPLFLN50XBDP
	1	700 – 7000X	292 – 37	0.75
MPLAPON50X
	0.35	700 – 7000X	550 – 55	0.95
	?*MPLAPON50X 不支持暗場和 MIX 觀察
LMPLFLN10XBD
	10	140 – 1550 – 55400X	2,740- 270	0.25
LMPLFLN20XBD
	12	280 – 2800X	1,370- 140	0.4
LMPLFLN50XBD
	10.6	700 – 7000X	550 – 55	0.5

明晰的顯微觀察 便捷的顯微操作

概述

快速分析較厚的大尺寸樣品材料

專為鋼鐵、汽車、電子和其他制造行業(yè)設(shè)計的GX53顯微鏡能夠提供傳統(tǒng)顯微鏡觀察方法難以獲得的清晰圖像。在配合奧林巴斯Stream圖像分析軟件使用情況下，該顯微鏡可讓從觀察到圖像分析及報告的整個檢測流程變得更加順暢。

檢測快捷，功能先進

快速觀察、測量和分析金相組織。

先進的分析工具

針對材料學(xué)的優(yōu)化

人性化

即便新手操作員也能夠輕松完成樣品觀察、結(jié)果分析和報告創(chuàng)建。

先進的成像技術(shù)

我們成熟可靠的光學(xué)器件和成像技術(shù)能夠提供清晰的圖像和可靠的檢測結(jié)果。

1. 可靠的光學(xué)性能：波前像差控制

2. 清晰的圖像：圖像陰影校正

3. 一致的色溫：高強度白光LED照明

4. 準確測量：自動校準

模塊化

根據(jù)您的應(yīng)用要求選擇所需的組件。

1. 打造專屬于您的系統(tǒng)：利用各種選配組件獲得全方面定制的系統(tǒng)

先進的分析工具

GX53顯微鏡的各種觀察功能可獲得清晰銳利的圖像，讓您能夠?qū)悠愤M行可靠的缺陷檢測。奧林巴斯Stream圖像分析軟件的新型照明技術(shù)和圖像采集方案可為您提供評估樣品和記錄研究結(jié)果的更多選擇。

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從不可見到可見：MIX技術(shù)

MIX技術(shù)將暗場與另一種觀察方法（如明場或偏振）相結(jié)合，讓您能夠觀察傳統(tǒng)顯微鏡難以觀察的樣品。圓形LED照明器的定向暗場功能可在指定時間照射一個或多個象限，從而減少樣品光暈，更好地觀察表面紋理。

印刷電路板切片

	明場 襯底層和通孔不可見。		暗場 痕跡不可見。		MIX: 明場+暗場 所有組件均可清晰呈現(xiàn)。

不銹鋼

	明場 紋理無法觀察。		暗場象限 色彩信息被去除。		MIX: 明場+暗場象限 材料色彩和紋理均可觀察。

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輕松生成全景圖像: 即時MIA

通過多圖像拼接(MIA)功能, 您轉(zhuǎn)動手動載物臺上的XY旋鈕即可輕松完成圖像拼接—電動載物臺為選配。奧林巴斯Stream軟件采用模式識別生成全景圖像，特別適合用于檢查滲碳和金屬流動情況。

螺栓的金屬流動

	使用XY旋鈕調(diào)節(jié)載物臺位置。				可觀察到金屬流動的全部狀況。

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生成全聚焦圖像EFI

奧林巴斯Stream軟件的景深擴展(EFI) 功能可采集高度超出景深范圍的樣品圖像。EFI可將這些圖像堆疊在一起生成單幅的樣品全聚焦圖像。即便分析表面不平坦的切片樣品時，EFI也能夠創(chuàng)建全聚焦圖像。

EFI配合手動或電動Z軸聚焦裝置，可生成高度圖像，對結(jié)構(gòu)進行可視化觀察。

樹脂零件

	使用對焦手柄調(diào)整物鏡高度。		EFI自動采集和堆疊多幅圖像，生成單幅的樣品全聚焦圖像。		生成全聚焦圖像。

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利用HDR同時采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域

采用先進圖像處理技術(shù)的高動態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，從而減少眩光。其也有助于增強低對比度圖像的對比度。高動態(tài)范圍(HDR)功能可用于觀察電子組件的細微結(jié)構(gòu)并識別金屬晶界。

金板

	某些部位存在眩光。		暗光區(qū)域和明亮區(qū)域利用HDR獲得清晰呈現(xiàn)。

鉻擴散涂層

	對比度低且不清晰。		利用HDR增強對比度。

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應(yīng)用

采用不同觀察方法所獲得的效果示例。

經(jīng)過拋光的AlSi樣品（明場 / 暗場）

	明場		暗場

明場：一種觀察直接照射樣品反射光的常見觀察方法。暗場：可觀察樣品的散射或衍射光線，因此諸如微小劃痕或瑕疵等缺陷非常明顯。

球墨鑄鐵（明場 / DIC）

	明場		DIC觀察

微分干涉相差顯微技術(shù)(DIC)：一種將樣品高度以類似提高了對比度的3D圖像，呈現(xiàn)出浮雕效果的觀察技術(shù)；其非常適用于觀察金相結(jié)構(gòu)和礦物等具有很細微高度差的樣品。

鋁合金（明場/偏光）

	明場		偏光觀察

偏光：一種能夠突出材料紋理和晶體狀態(tài)的觀察技術(shù)，用于觀察諸如球墨鑄鐵的石墨生長類型等金相結(jié)構(gòu)和礦物。

電子組件（明場/ MIX觀察）

	明場		MIX: 明場+暗場

MIX觀察：將明場和暗場相結(jié)合，樣品的顏色和結(jié)構(gòu)均可觀察。
上面的MIX觀察圖像清晰再現(xiàn)了該組件的顏色和紋理以及粘合劑層的狀況。

奧林巴斯Stream軟件 – 專為材料科學(xué)優(yōu)化

GX53顯微鏡和奧林巴斯Stream軟件可為滿足各種行業(yè)標準要求的金相分析方法提供支持。用戶通過分步操作指導(dǎo)能夠輕松快捷完成樣品分析。

 

顆粒分析 – 計數(shù)和測量解決方案

計數(shù)和測量解決方案使用閾值法，能夠可靠地分離目標（如顆粒和劃痕）與背景?？墒褂贸^50種不同的參數(shù)對樣品進行測量或評級，包括形狀、大小、位置和像素特性等。

	常規(guī)軟件 晶界不清晰		侵蝕后 的鋼的顯微組織 （原始圖像）		奧林巴斯Stream 晶界清晰可辨

晶粒分類結(jié)果

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顯微組織中的晶粒尺寸

測量晶粒尺寸和分析鋁、鐵素體和奧氏體等鋼的晶體結(jié)構(gòu)以及其他金屬的顯微組織。
支持標準：ISO, GOST, ASTM, DIN, JIS,? GB/T

鐵素體晶粒的顯微組織

	晶粒度截線法解決方案

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評估石墨球化率

評估鑄鐵樣品（球墨/蠕墨）的石墨球化率及含量。對石墨節(jié)點的形態(tài)、分布和大小歸類。
支持標準：ISO、NF、ASTM、KS、JIS、GB/T

顯示球狀石墨結(jié)構(gòu)的延性鑄鐵

鑄鐵解決方案

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高純鋼中非金屬夾雜物含量的評定

對在惡劣視場采集圖像中的非金屬夾雜物或手動發(fā)現(xiàn)的惡劣夾雜物進行分類。
支持標準：ISO、EN、ASTM、DIN、JIS、GB/T、UNI

帶有非金屬夾雜物的鋼

夾雜物惡劣視場解決方案

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您的樣品圖像與參考圖像對比

可輕松比較實時或靜態(tài)圖像與自動縮放的參考圖像。該解決方案包括符合各種標準的參考圖像（也可單獨購買更多的參考圖像）。支持包括實時疊加顯示和并排比較等多種模式。
支持標準：ISO、EN、ASTM、DIN、SEP

	帶有非金屬夾雜物的鋼	鐵素體晶粒的顯微組織